Semistat S 4400

El uso de sistemas de regulación de temperatura Semistat permite reducir el consumo de energía hasta un 90 % con respecto a sistemas basados en compresores. El espacio necesario mínimo junto a la posibilidad de realizar una instalación bajo el suelo en el punto de uso minimiza la ocupación del espacio limpio. Gracias a una regulación rápida y precisa de la temperatura de los perfiles de temperatura del proceso con una exactitud de ±0,1 K se logra una homogeneidad "Wafer-to-Wafer" mejorada.

N.º de pedido: L003278

Características de rendimiento

Termostato de proceso termoeléctrico con bajo consumo energético
Funcionamiento silencioso y sin vibraciones gracias a la tecnología de refrigeración sin refrigerantes
No se requieren filtros ni componentes de ADI
Con conexión para purgar con aire limpio y seco (CDA) y evitar la condensación
Uso de líquidos perfluorados
Versión con refrigeración por agua
Tamaño y peso reducidos
Volumen de líquido caloportador muy bajo

Zona de trabajo

Temperatura de trabajo mín.

-20 °C

Temperatura de trabajo máx.

90 °C

Estabilidad de temperatura

0.1 ± K

Características técnicas (según DIN 12876)

Rango de temperatura de trabajo
-20 ... 90 °C
Estabilidad de temperatura
0.1 ± K
Potencia calorífica mín.
12 kW
Volumen de llenado mín.
2.5 L
Volumen de llenado máx.
2.8 L
Dimensiones (an x pr x al)
194 x 300 x 560 mm
Peso
38 kg
Alimentación de red
Connection to PSC
TemperaturKälteleistung 50 HzKälteleistung 60 Hz
20 °C4,4 kW4,4 kW
10 °C3,5 kW3,5 kW
0 °C2,6 kW2,6 kW
-10 °C1,65 kW1,65 kW
-20 °C0,7 kW0,7 kW
20 °C4,4 kW4,4 kW
10 °C3,5 kW3,5 kW
0 °C2,6 kW2,6 kW
-10 °C1,65 kW1,65 kW
-20 °C0,7 kW0,7 kW

 

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Capítulo Termostatos de circulación y proceso
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Termostatos de proceso Folleto
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